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panda_myth

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 144.3小时
虫号: 1387881
注册: 2011-09-02
性别: MM
专业: 聚合物共混与复合材料

[求助] 有没有使用过Kurt J. Lesker PVD75 的虫虫？

有没有使用过Kurt J. Lesker PVD75 的虫虫？
目前准备加工靶材，想查询靶材的直径及厚度要求是怎样的。如果有使用说明书，也请发送给我，多谢！

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1楼 2013-07-12 16:57:37

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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)

应助: 34 (小学生)
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红花: 1
帖子: 134
在线: 170.7小时
虫号: 2561431
注册: 2013-07-23
性别: GG
专业: 微/纳机械系统

Kurt J. Lesker 公司卖靶材您可以联系他们公司

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3楼2013-07-29 17:10:00

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chaoran420

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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注册: 2010-04-13
性别: MM
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
panda_myth: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-07-30 15:09:18

1.3个磁控溅射靶枪，或1个电子束蒸发源，或3个热蒸发源，或6个OLED蒸发源。
2.最大4英寸样品，可旋转，加热/冷却，偏压/射频清洗，气动样品挡板。
3.全封闭框架结构。前开门腔体，方便内部操作，计算机控制。
4.主要用于薄膜研发，用于镀金属，半导体和绝缘材料，成膜均匀性，镀膜工艺重复性能好。

你问北京高德威金属吧

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一啸2013