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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有使用过Kurt J. Lesker PVD75 的虫虫？
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panda_myth

木虫 (正式写手)

[求助] 有没有使用过Kurt J. Lesker PVD75 的虫虫？

有没有使用过Kurt J. Lesker PVD75 的虫虫？
目前准备加工靶材，想查询靶材的直径及厚度要求是怎样的。如果有使用说明书，也请发送给我，多谢！
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磁控溅射靶材资料大全 Target and film

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1楼 2013-07-12 16:57:37
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chaoran420

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
panda_myth: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-07-30 15:09:18
1.3个磁控溅射靶枪，或1个电子束蒸发源，或3个热蒸发源，或6个OLED蒸发源。
2.最大4英寸样品，可旋转，加热/冷却，偏压/射频清洗，气动样品挡板。
3.全封闭框架结构。前开门腔体，方便内部操作，计算机控制。
4.主要用于薄膜研发，用于镀金属，半导体和绝缘材料，成膜均匀性，镀膜工艺重复性能好。

你问北京高德威金属吧
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一啸2013
2楼2013-07-29 14:51:54
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)
Kurt J. Lesker 公司卖靶材您可以联系他们公司
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3楼2013-07-29 17:10:00
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panda_myth

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小博士后 at 2013-07-29 17:10:00
Kurt J. Lesker 公司卖靶材您可以联系他们公司

谢谢你
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4楼2013-07-30 15:11:27
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我是小啰嗦

铜虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-09-24 08:49:58
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yinxiaomu

银虫 (正式写手)
呵呵,LZ,你们这个仪器使用起来怎么样，我们在调研这个仪器，有意向购置了
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6楼2015-04-09 14:56:42
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