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[交流] 硅基薄膜太阳能电池

哪位大神知道非晶硅/微晶硅双结叠层硅基薄膜太阳能电池的的结构图，以及其所用的主要原材料和各自特点的啊，真心求组，希望大神们慷慨解囊。。

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1楼2013-07-10 16:24:16

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gg9075

至尊木虫 (著名写手)

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★
有水准(金币+1): 谢谢参与

南开大学有很多非晶硅和微晶硅电池的研究论文，楼主可以去看下，我以前见过非晶硅电池的制作，自己只做过微晶硅的，单节的可以告诉你一下。采用的仪器是PECVD之类的化学气相沉积设备，反应气源是硅烷，氢气，磷烷，硼烷，分别用于本征，p，n层的制作，电池的结构是pin结构的，通过沉积技术将分别在不同腔室（或相同腔室）里将p，i，n型材料沉积在有雾度的FTO上，这里需要注意，对于微晶硅而言，FTO上制作出来的电池效率不会很高，需要在FTO上溅射一层薄的ZnO，然后在其上制作微晶硅的pin电池，希望对你有用。