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jy1036

新虫 (初入文坛)

[求助] 碳化硅薄膜 已有1人参与

楼主做的碳化硅薄膜,但是用的是石墨衬底,蒸发硅颗粒的,测衬底的xrd图跟镀膜退火后的xrd图峰位差不多,但是强度会变化,左右好像也有偏差,而且用Jade图上能检测出有几个峰是碳化硅,我的问题就是:
1.是不是没镀上薄膜,但是用能谱已经检测出表面有硅的,而且颜色也变了的;
2.是不是薄膜是非晶的,但是非晶的在xrd上也能显示的啊,只是峰位粗细的问题;
3.如果不是以上两个问题的话,镀上薄膜了,难道碳的峰跟碳化硅的峰差不多吗?
求高手指点一下,现在老板天天催我,我快无语了。。。。。
严重鄙视那些进来就是为了领金币的了。。。。。。怎么的也发表点自己的看法啊!!!
下面是我的衬底xrd图和1000度退火之后的xrd图,大家帮我看看吧!!
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倾城流苏

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你这个XRD貌似没有SiC的峰啊 我是用磁控溅射做的非晶 XRD不明显 你的涂层多厚啊
2楼2015-07-08 23:55:59
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