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碳化硅薄膜 已有1人参与
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楼主做的碳化硅薄膜,但是用的是石墨衬底,蒸发硅颗粒的,测衬底的xrd图跟镀膜退火后的xrd图峰位差不多,但是强度会变化,左右好像也有偏差,而且用Jade图上能检测出有几个峰是碳化硅,我的问题就是: 1.是不是没镀上薄膜,但是用能谱已经检测出表面有硅的,而且颜色也变了的; 2.是不是薄膜是非晶的,但是非晶的在xrd上也能显示的啊,只是峰位粗细的问题; 3.如果不是以上两个问题的话,镀上薄膜了,难道碳的峰跟碳化硅的峰差不多吗? 求高手指点一下,现在老板天天催我,我快无语了。。。。。 严重鄙视那些进来就是为了领金币的了。。。。。。怎么的也发表点自己的看法啊!!! 下面是我的衬底xrd图和1000度退火之后的xrd图,大家帮我看看吧!! |
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2013-07-08 16:26:59, 38.74 K
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2楼2015-07-08 23:55:59













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