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sunwh_cool木虫 (正式写手)
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[求助]
ZnO传感器稳定性已有1人参与
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大家好，小弟近日用水热法生长ZnO阵列，做气体传感器。 种子层是ZnO 溶胶做的，把Si衬底（衬底上已经溅射有电极）泡在溶胶中2min，再350度加热，重复3次。然后再在0.02M反应液中生长。生长后加热到200度-400度测气敏性。 可问题是，在测试过程中，阻值会不停的增加，如果继续加热，阻值会大于120M，超出万用表的量程。刚开始加热时的阻值只有500k的样子，为什么会这样？薄膜加热裂开了吗？应该怎么改善呢？请各位多多帮忙！！  |
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fengangelo
禁虫 (小有名气)
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4楼2013-07-22 17:21:19