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sunwh_cool木虫 (正式写手)
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ZnO传感器稳定性已有1人参与
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大家好,小弟近日用水热法生长ZnO阵列,做气体传感器。 种子层是ZnO 溶胶做的,把Si衬底(衬底上已经溅射有电极)泡在溶胶中2min,再350度加热,重复3次。然后再在0.02M反应液中生长。生长后加热到200度-400度测气敏性。 可问题是,在测试过程中,阻值会不停的增加,如果继续加热,阻值会大于120M,超出万用表的量程。刚开始加热时的阻值只有500k的样子,为什么会这样?薄膜加热裂开了吗?应该怎么改善呢?请各位多多帮忙!! ![]() ![]() |
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wiseroy
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2楼2013-07-03 15:21:12
wiseroy
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3楼2013-07-06 19:23:49
fengangelo
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4楼2013-07-22 17:21:19
dearmaximus
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