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yhfan

金虫 (正式写手)

[交流] 求助制备薄膜的SEM截面的问题

求助各位大侠:
以软的金属箔为基体做铁电薄膜,怎么处理做SEM的截面?
我现在是用剪刀剪的 ,但是剪刀剪的话,1,膜的表面会凹下去,使截面的情况失真;2,也容易使膜产生裂纹;3 剪出的截面也无法用砂纸或其他的东西打磨处理,因为基体很软,很薄。请教各位大侠的帮助
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kerener_99

银虫 (小有名气)

如果是单晶硅基底做的Co或者Al2O3膜,界面怎么处理啊?薄膜是纳米级的,很难用SEM找到界面。
多看多学
7楼2007-11-05 19:22:22
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yujian2531

木虫 (正式写手)

采用金相分析上的方法,用树脂镶嵌制样,再研磨抛光.
2楼2007-10-25 08:30:54
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ostrichzhang

木虫 (小有名气)

我觉得可以这样来做:将两片(或多片)薄膜重叠,用夹具夹紧后,利用线切割来切。这样可以得到较好的截面。还要对截面进行抛光处理一下。
不知道对你有没有用?
3楼2007-10-25 09:19:59
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super7

木虫 (著名写手)

卷成圆卷后用树脂镶嵌再研磨
4楼2007-10-25 14:13:15
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