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3楼2013-06-30 15:23:10
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2楼2013-06-30 13:07:24
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cz.87101木虫 (正式写手)
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4楼2013-06-30 15:24:54
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yswyx
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回复此楼
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专家经验: +651 |
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
vsicbc: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 看起来很靠谱 2013-07-01 18:31:12
感谢参与，应助指数 +1
vsicbc: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 看起来很靠谱 2013-07-01 18:31:12
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如果有条件的话，用吸wafer用的吸笔，不过吸笔非常贵。（便宜的吸笔别用） 盖玻片是可以做衬底的，150um厚度虽然很脆弱，但只要轻拿轻放，不会有问题。而且匀胶机没有那么娇气，至少国产的远没有那么娇气，不会出事的。 不过盖玻片的厚度尺寸精度误差很大，一般来说，非常不利于光刻等工艺，所以在实验上，尽量采用我们半导体上常用的玻璃衬底，比如BF33玻璃，或者是某些超薄玻璃。 盖玻片虽然很便宜，但是由于精度的问题，适用的范围非常有限，不建议做器件使用。 |
5楼2013-07-01 18:07:12
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