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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
11楼2013-07-02 08:29:22
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by HHBWF at 2013-07-02 09:29:22
http://

2222222.jpg
...

直接把Cu片放在靶材的刻蚀区内就行了
不需要银胶之类的粘着

靶材表面比较粗糙，不会滑下去。
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HHBWF
12楼2013-07-02 10:19:25
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
送红花一朵
本帖内容被屏蔽
13楼2013-07-02 11:08:30
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甲子湖

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这样一般还可以，北航有个组也是这么做的，还有掺杂靶材也贵不哪去，我们组就直接买
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14楼2013-07-15 11:57:56
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
都是共溅射吧，哪有贴片的。。。
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哈哈哈哈，来吧
15楼2014-08-10 03:47:08
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Vafan

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没有直流电源么?ZnO需要射频电源,但是Cu靶使用直流电源不就可以了
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16楼2014-11-05 10:07:59
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zwy198759

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以做，直接将片放在靶材上，只要接触良好就行，至于片上的功率可以按照面积来计算。
最好是两靶共溅射
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17楼2014-11-26 15:31:25
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