| 查看: 2285 | 回复: 13 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
cheadache捐助贵宾 (初入文坛)
|
[求助]
求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！已有1人参与
|
|
|
一直用磁控溅射在石英玻璃上镀铬-金膜做为导电层，一般功率为200w ，工作电流430MA,电压450v。 在老金靶用完之后，我更换一个了金靶，功率不变，工作电流变为410MA,电压480v，其它参数没任何变化，但是膜层的质量严重下降，镀膜后石英器件的振动品质因数也下降的很明显。 我只更换了金靶，没更改任何参数设置，为何造成这么大的变化啊。 金靶应该是没有问题的，之前用别的磁控溅射设备镀膜没有任何问题。 [ Last edited by cheadache on 2013-6-28 at 19:05 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
求aspen adsorption软件安装包破解版
已经有0人回复
-
重庆工商大学-废油资源化技术与装备教育部工程研究中心2026年硕士研究生招生
已经有41人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有76人回复
-
26申博_分子动力学模拟
已经有4人回复
-
26申博自建_分子动力学模拟
已经有0人回复
-
大连理工大学 暖通方向 2026级博士招生
已经有15人回复
-
大连理工大学 暖通专业 2026级博士生名额剩余一个
已经有0人回复
-
老男孩计划2026年读博申请
已经有3人回复
-
求流动传热博导
已经有0人回复
-
犹他大学机械工程 Tianli Feng课题组博士生招生
已经有0人回复
-
南京航空航天大学院士团队招生能源方向博士
已经有1人回复
12楼2013-11-19 21:09:08
mzhuxust
木虫 (小有名气)
- 应助: 67 (初中生)
- 金币: 2630.6
- 红花: 8
- 帖子: 297
- 在线: 150.7小时
- 虫号: 2296404
- 注册: 2013-02-24
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2013-06-29 00:21:52
cheadache
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 263.1
- 帖子: 40
- 在线: 7.8小时
- 虫号: 748079
- 注册: 2009-04-14
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2013-06-29 08:22:30
4楼2013-06-29 15:51:35