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wrs6473

木虫 (初入文坛)

[求助] AZO陶瓷靶材如何腐蚀

想看下制备出的AZO陶瓷靶材的表面形貌，进行SEM测试，打磨抛光后，该怎样进行腐蚀呢？
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埃斯朗佩莎~
1楼 2013-06-22 21:30:06
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wrs6473

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 大圣1028 at 2013-06-25 17:07:19
你做的AZO靶材的导电性怎么样，表面导电性怎么样？你做的靶材应该主要是导电不行，所以只能看到白茫茫一片。建议你测下你靶材的电阻看看。我做的不经腐蚀，也可以清楚的看到晶界结构。

若是连电阻那关都没过，如何敢去测SEM，老板会杀了我的~电阻率2.3*10-3，应该导电性过得去~
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埃斯朗佩莎~
7楼2013-06-25 18:56:54
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tjumark

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我看有用冰乙酸的，请参看“Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及性能”--《兰州大学》2011年硕士论文：····尝试性地使用冰乙酸对制备出的AZO 薄膜进行了腐蚀,研究了冰乙酸浓度、腐蚀时间......
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知足常乐，奋斗不息。
2楼2013-06-23 21:41:06
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wrs6473

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tjumark at 2013-06-23 21:41:06
我看有用冰乙酸的，请参看“Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及性能”--《兰州大学》2011年硕士论文：····尝试性地使用冰乙酸对制备出的AZO 薄膜进行了腐蚀,研究了冰乙酸浓度、腐蚀时间......

嗯嗯，非常感谢哈！我去看看这篇论文~~
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埃斯朗佩莎~
3楼2013-06-23 23:12:53
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大圣1028

新虫 (小有名气)
想请问下楼主，你做得靶材抛光后，难道测不出SEM吗，为什么还要进行腐蚀？
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我爱科研
4楼2013-06-24 16:49:12
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