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wrs6473

木虫 (初入文坛)

[求助] AZO陶瓷靶材如何腐蚀

想看下制备出的AZO陶瓷靶材的表面形貌,进行SEM测试,打磨抛光后,该怎样进行腐蚀呢?
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埃斯朗佩莎~
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wrs6473

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 大圣1028 at 2013-06-25 17:07:19
你做的AZO靶材的导电性怎么样,表面导电性怎么样?你做的靶材应该主要是导电不行,所以只能看到白茫茫一片。建议你测下你靶材的电阻看看。我做的不经腐蚀,也可以清楚的看到晶界结构。

若是连电阻那关都没过,如何敢去测SEM,老板会杀了我的~电阻率2.3*10-3,应该导电性过得去~
埃斯朗佩莎~
7楼2013-06-25 18:56:54
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tjumark

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我看有用冰乙酸的,请参看“Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及性能”--《兰州大学》2011年硕士论文:····尝试性地使用冰乙酸对制备出的AZO 薄膜进行了腐蚀,研究了冰乙酸浓度、腐蚀时间......
知足常乐,奋斗不息。
2楼2013-06-23 21:41:06
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wrs6473

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by tjumark at 2013-06-23 21:41:06
我看有用冰乙酸的,请参看“Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及性能”--《兰州大学》2011年硕士论文:····尝试性地使用冰乙酸对制备出的AZO 薄膜进行了腐蚀,研究了冰乙酸浓度、腐蚀时间......

嗯嗯,非常感谢哈!我去看看这篇论文~~
埃斯朗佩莎~
3楼2013-06-23 23:12:53
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大圣1028

新虫 (小有名气)

想请问下楼主,你做得靶材抛光后,难道测不出SEM吗,为什么还要进行腐蚀?
我爱科研
4楼2013-06-24 16:49:12
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