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mlg186

金虫 (正式写手)

[求助] 谁知道EDS 能谱测试厚度是多少呢?

谁知道EDS 能谱测试厚度是多少呢?
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mlg186: 金币+4, 有帮助 2013-06-10 08:39:28
EdS的测试厚度一般是一个微米
2楼2013-06-09 20:30:13
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mlg186

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ujn_cxd at 2013-06-09 20:30:13
EdS的测试厚度一般是一个微米

那XPS呢?
加油!
3楼2013-06-10 08:39:20
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-10 08:39:20
那XPS呢?...

XPS可以根据需要一层一层打下去
4楼2013-06-10 10:42:36
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mlg186: 金币+6, 有帮助 2013-06-12 09:02:51
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-10 08:39:20
那XPS呢?...

一般不会超过10nm吧,仅表面薄层,不能深入内部,如果测内部,需要等离子刻蚀等工艺!
5楼2013-06-11 21:29:24
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mlg186

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by caoxiafei at 2013-06-11 21:29:24
一般不会超过10nm吧,仅表面薄层,不能深入内部,如果测内部,需要等离子刻蚀等工艺!...

相比EDAX呢?
加油!
6楼2013-06-12 09:02:40
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

引用回帖:
6楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-12 09:02:40
相比EDAX呢?...

XPS是用X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。 只有表面10nm内的原子可释放电子!
表面单点成分分析!
EDAX与EDS相似,是用电子束轰击样品表面,使原子或分子的内层电子跃迁辐射,放出特征X射线。  电子束与样品作用体积,约为1um直径的椭球,在这个体积内都能放出特征X射线。
表面成分扫描成分分析,可多点,结合SEM,分析特定位置!
7楼2013-06-12 14:57:22
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mlg186

金虫 (正式写手)

送红花一朵
谢谢啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
加油!
8楼2013-06-12 23:58:46
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