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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 谁知道EDS 能谱测试厚度是多少呢？
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mlg186

金虫 (正式写手)

[求助] 谁知道EDS 能谱测试厚度是多少呢？

谁知道EDS 能谱测试厚度是多少呢？
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mlg186

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加油！
1楼 2013-06-09 15:46:04
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mlg186: 金币+4, ★有帮助 2013-06-10 08:39:28
EdS的测试厚度一般是一个微米
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2楼2013-06-09 20:30:13
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mlg186

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ujn_cxd at 2013-06-09 20:30:13
EdS的测试厚度一般是一个微米

那XPS呢？
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加油！
3楼2013-06-10 08:39:20
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-10 08:39:20
那XPS呢？...

XPS可以根据需要一层一层打下去
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4楼2013-06-10 10:42:36
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mlg186: 金币+6, ★有帮助 2013-06-12 09:02:51
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-10 08:39:20
那XPS呢？...

一般不会超过10nm吧，仅表面薄层，不能深入内部，如果测内部，需要等离子刻蚀等工艺！
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5楼2013-06-11 21:29:24
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mlg186

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by caoxiafei at 2013-06-11 21:29:24
一般不会超过10nm吧，仅表面薄层，不能深入内部，如果测内部，需要等离子刻蚀等工艺！...

相比EDAX呢？
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加油！
6楼2013-06-12 09:02:40
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
引用回帖:
6楼: Originally posted by mlg186 at 2013-06-12 09:02:40
相比EDAX呢？...

XPS是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。 只有表面10nm内的原子可释放电子！
表面单点成分分析！
EDAX与EDS相似，是用电子束轰击样品表面，使原子或分子的内层电子跃迁辐射，放出特征X射线。  电子束与样品作用体积，约为1um直径的椭球，在这个体积内都能放出特征X射线。
表面成分扫描成分分析，可多点，结合SEM，分析特定位置！
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7楼2013-06-12 14:57:22
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mlg186

金虫 (正式写手)
送红花一朵
谢谢啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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加油！
8楼2013-06-12 23:58:46
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