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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 磁控溅射问题
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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射问题

现在我想镀铁磁材料和铁磁材料，听说铁磁材料的用电磁靶，非磁材料需要永磁靶，请教高手电磁靶和永磁靶有什么不同，在那里有着方面的资料 谢谢
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1楼 2007-10-15 11:11:34
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guodw05

木虫 (正式写手)
不存在这样的问题，像我们实验室的磁控溅射台，直流溅射下面用的是电磁靶，射频溅射用的是永磁靶，两个都可以溅射磁性材料，只不过直流溅射不能溅射绝缘体磁性材料靶材，我不知道楼主是听谁说的：铁磁材料的用电磁靶，非磁材料需要永磁靶！！！！！！！！
你可以看些薄膜制备与性质方面的书籍，里面就有关于溅射原理的介绍！
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2楼2007-10-16 17:17:33
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