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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射问题

现在我想镀铁磁材料和铁磁材料,听说铁磁材料的用电磁靶,非磁材料需要永磁靶,请教高手电磁靶和永磁靶有什么不同,在那里有着方面的资料 谢谢
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guodw05

木虫 (正式写手)

不存在这样的问题,像我们实验室的磁控溅射台,直流溅射下面用的是电磁靶,射频溅射用的是永磁靶,两个都可以溅射磁性材料,只不过直流溅射不能溅射绝缘体磁性材料靶材,我不知道楼主是听谁说的:铁磁材料的用电磁靶,非磁材料需要永磁靶!!!!!!!!
你可以看些薄膜制备与性质方面的书籍,里面就有关于溅射原理的介绍!
2楼2007-10-16 17:17:33
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