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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射问题

现在我想镀铁磁材料和铁磁材料,听说铁磁材料的用电磁靶,非磁材料需要永磁靶,请教高手电磁靶和永磁靶有什么不同,在那里有着方面的资料 谢谢
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wwei

铜虫 (小有名气)

永磁材料就是靶后面的磁缸固定的,没的改了一般,

电磁的可以调整电流来调整磁场
3楼2007-10-15 17:09:42
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gkd_0000

新虫 (正式写手)

电磁靶磁场强度可调,永磁靶磁场强度不可调,铁磁性材料对磁场有屏蔽作用,只有加大磁场强度,铁磁性材料才可以穿透到达基片,因此要用电磁靶加大磁场,永磁靶磁场强度一般比较小。
成功地证实种种大胆的设想和揣测,这难道不正说明我们毕生的工作是无可非议和值得自豪的吗?--柯南道尔
2楼2007-10-15 12:27:47
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