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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 磁控溅射问题
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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射问题

现在我想镀铁磁材料和铁磁材料，听说铁磁材料的用电磁靶，非磁材料需要永磁靶，请教高手电磁靶和永磁靶有什么不同，在那里有着方面的资料 谢谢
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1楼 2007-10-15 11:11:01
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gkd_0000

新虫 (正式写手)
电磁靶磁场强度可调，永磁靶磁场强度不可调，铁磁性材料对磁场有屏蔽作用，只有加大磁场强度，铁磁性材料才可以穿透到达基片，因此要用电磁靶加大磁场，永磁靶磁场强度一般比较小。
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成功地证实种种大胆的设想和揣测，这难道不正说明我们毕生的工作是无可非议和值得自豪的吗？－－柯南道尔
2楼2007-10-15 12:27:47
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wwei

铜虫 (小有名气)
永磁材料就是靶后面的磁缸固定的，没的改了一般，

电磁的可以调整电流来调整磁场
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3楼2007-10-15 17:09:42
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