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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 射频功率源

磁控溅射用的射频电源和阴极是一个概念吗?射频电源线接到的地方为什么又叫阴极?

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镀金
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

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690069175: 金币+15, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-06-08 21:20:11
参见:
3.射频溅射
      射频溅射的两个电极,既然是接在交变的射频电源上,似乎就没有阴极与阳极之分了。实际上射频溅射装置的两个电极并不是对称的。放置基片的电极与机壳相连,并且接地,这个电极相对安装靶材的电极而言,是一个大面积的电极。它的电位与等离子相近,几乎不受离子轰击。另一电极对于等离子处于负电位,是阴极,受到离子轰击,用于装置靶材。
https://blog.sina.com.cn/s/blog_8955d0a50100zkwp.html
没有困难创造困难也要上网。
2楼2013-06-07 10:15:27
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