| 查看: 529 | 回复: 1 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
690069175金虫 (正式写手)
头儿
|
[求助]
射频功率源
|
||
| 磁控溅射用的射频电源和阴极是一个概念吗？射频电源线接到的地方为什么又叫阴极？ |
回复此楼» 猜你喜欢
303求调剂
已经有6人回复
-
07化学303求调剂
已经有5人回复
-
332求调剂
已经有6人回复
-
考研调剂
已经有7人回复
-
0856求调剂
已经有5人回复
-
总分293求调剂
已经有6人回复
-
275求调剂
已经有5人回复
-
085600 材料与化工 329分求调剂
已经有7人回复
-
材料与化工328分调剂
已经有6人回复
-
291 求调剂
已经有6人回复
qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
- 博学EPI: 2910
- 应助: 120 (高中生)
- 贵宾: 0.414
- 金币: 85720.6
- 散金: 3020
- 红花: 212
- 沙发: 7684
- 帖子: 39484
- 在线: 4852.6小时
- 虫号: 797958
- 注册: 2009-06-24
- 性别: GG
- 专业: 自然语言理解与机器翻译
- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+15, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-06-08 21:20:11
690069175: 金币+15, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-06-08 21:20:11
|
参见： 3.射频溅射 射频溅射的两个电极，既然是接在交变的射频电源上，似乎就没有阴极与阳极之分了。实际上射频溅射装置的两个电极并不是对称的。放置基片的电极与机壳相连，并且接地，这个电极相对安装靶材的电极而言，是一个大面积的电极。它的电位与等离子相近，几乎不受离子轰击。另一电极对于等离子处于负电位，是阴极，受到离子轰击，用于装置靶材。 https://blog.sina.com.cn/s/blog_8955d0a50100zkwp.html |
2楼2013-06-07 10:15:27
