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690069175金虫 (正式写手)
头儿
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射频功率源
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| 磁控溅射用的射频电源和阴极是一个概念吗？射频电源线接到的地方为什么又叫阴极？ |
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版主 (文坛精英)
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【答案】应助回帖
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690069175: 金币+15, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-06-08 21:20:11
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参见： 3.射频溅射 射频溅射的两个电极，既然是接在交变的射频电源上，似乎就没有阴极与阳极之分了。实际上射频溅射装置的两个电极并不是对称的。放置基片的电极与机壳相连，并且接地，这个电极相对安装靶材的电极而言，是一个大面积的电极。它的电位与等离子相近，几乎不受离子轰击。另一电极对于等离子处于负电位，是阴极，受到离子轰击，用于装置靶材。 https://blog.sina.com.cn/s/blog_8955d0a50100zkwp.html |
2楼2013-06-07 10:15:27