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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 请问在单晶硅衬底可以直接溅射铜或铝吗？
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问在单晶硅衬底可以直接溅射铜或铝吗？

如果可以，溅射的温度是多少？要多大功率？谢谢！
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1楼 2013-06-03 15:56:47
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zhengyk

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-04 03:05:31
应该可以，衬底要处理干净。室温溅射就可以。溅射功率和设备相关。
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2楼2013-06-03 21:52:34
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-04 03:05:39
你想要什么膜呢？各个仪器不同气体都会有不同的效果，你这个问题说真的实在不好回答！
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3楼2013-06-04 01:58:09
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