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miaobotong

铜虫 (小有名气)


[交流] 请问在单晶硅衬底可以直接溅射铜或铝吗?

如果可以,溅射的温度是多少?要多大功率?谢谢!
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zhengyk

银虫 (初入文坛)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-04 03:05:31
应该可以,衬底要处理干净。室温溅射就可以。溅射功率和设备相关。
2楼2013-06-03 21:52:34
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华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-04 03:05:39
你想要什么膜呢?各个仪器不同气体都会有不同的效果,你这个问题说真的实在不好回答!
3楼2013-06-04 01:58:09
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