版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3829)
>导师招生 (704)
>论文投稿 (392)
>休闲灌水 (217)
>硕博家园 (214)
>文献求助 (139)
>考博 (136)
>新药研发 (98)
>公派出国 (80)
>学术会议 (74)
>虫友互识 (68)
>考研 (68)
>基金申请 (57)
>论文道贺祈福 (50)
>教师之家 (45)
>博后之家 (41)

miaobotong

铜虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 81
帖子: 87
在线: 16.8小时
虫号: 1743921

[交流] 请问在单晶硅衬底可以直接溅射铜或铝吗？

如果可以，溅射的温度是多少？要多大功率？谢谢！

» 猜你喜欢

售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急已经有13人回复
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急已经有18人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急已经有18人回复
2027博士申请-临床检验诊断学、病原生物学、微生物方向已经有4人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急已经有10人回复
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急已经有22人回复
越来越担心硕士毕业后没有竞争力了已经有14人回复
论文的挂名怎么评判贡献？基金申请中，排名第一的挂名文章已经有3人回复
申博自荐 2篇一区TOP+1篇EI+2公开发明专利 2027博士申请已经有3人回复
闲聊已经有6人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

单晶硅衬底上有ZnO，Ag，荧光光谱出现了290nm的峰，大家来讨论一下已经有64人回复
铝酸镧单晶衬底加热变黄的原因已经有3人回复
【讨论】单晶硅衬底上附着Ni纳米颗粒已经有3人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离已经有20人回复

1楼 2013-06-03 15:56:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zhengyk

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2901
帖子: 26
在线: 41.3小时
虫号: 866161

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-04 03:05:31

应该可以，衬底要处理干净。室温溅射就可以。溅射功率和设备相关。

2楼2013-06-03 21:52:34

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-04 03:05:39

你想要什么膜呢？各个仪器不同气体都会有不同的效果，你这个问题说真的实在不好回答！

3楼2013-06-04 01:58:09

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 miaobotong 的主题更新