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clfu2000

木虫 (著名写手)

小木虫村村长

[交流] 【求助】请教有关磁控溅射方面的问题!

我在用磁控溅射镀膜的时候,一直没办法使其产生辉光,也就没有办法镀膜,
我怀疑是氩气通入量不够,但是怎么都解决不了。

实验至今没法子做!
请高手帮忙!!!

先谢了!!!

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-9 at 19:45 ]
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人之所以快乐 不是因为得到的多 而是因为计较的少 财富不是一生的朋友 而朋友是一生的财富!
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youjiahui

金虫 (正式写手)

和山东师大的半导体研究所联系,我也没有他们的地址给你2个教授的邮箱:huizhaozhuang@163.com,xuechengshan@sdnu.edu.cn
人的成长要接受四个方面的教育:父母、老师、书籍,社会。有趣的是,后者似乎总是与前面三种背道而驰。
2楼2007-10-12 16:10:18
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guodw05

木虫 (正式写手)

可能起辉可能有以下几种原因:
1气压太低;
2功率发生器,匹配器或者靶子有问题;
3你的靶材装得有问题,两极短路了,致使功率没加到靶子上
4检查一下电源
先试试查查这些原因!
3楼2007-10-12 22:40:54
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clfu2000

木虫 (著名写手)

小木虫村村长

谢谢上面两位的帮助

原因查出来了

氩气的通气阀门坏了,一直打不开

已经送厂家检修了
人之所以快乐 不是因为得到的多 而是因为计较的少 财富不是一生的朋友 而朋友是一生的财富!
4楼2007-10-29 16:01:59
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doxerl

新虫 (初入文坛)

下次注意点
5楼2007-10-29 23:46:33
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nini_chen

银虫 (小有名气)

从真空度上看不出来吗
6楼2008-06-02 15:19:52
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