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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】请教有关磁控溅射方面的问题！
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clfu2000

木虫 (著名写手)

小木虫村村长

[交流] 【求助】请教有关磁控溅射方面的问题！

我在用磁控溅射镀膜的时候，一直没办法使其产生辉光，也就没有办法镀膜，
我怀疑是氩气通入量不够，但是怎么都解决不了。

实验至今没法子做！
请高手帮忙！！！

先谢了！！！

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-9 at 19:45 ]
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1楼 2007-10-12 15:59:14
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guodw05

木虫 (正式写手)
可能起辉可能有以下几种原因：
1气压太低；
2功率发生器，匹配器或者靶子有问题；
3你的靶材装得有问题，两极短路了，致使功率没加到靶子上
4检查一下电源
先试试查查这些原因！
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3楼2007-10-12 22:40:54
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youjiahui

金虫 (正式写手)
和山东师大的半导体研究所联系,我也没有他们的地址给你2个教授的邮箱:huizhaozhuang@163.com,xuechengshan@sdnu.edu.cn
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人的成长要接受四个方面的教育：父母、老师、书籍，社会。有趣的是，后者似乎总是与前面三种背道而驰。
2楼2007-10-12 16:10:18
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clfu2000

木虫 (著名写手)

小木虫村村长
谢谢上面两位的帮助

原因查出来了

氩气的通气阀门坏了，一直打不开

已经送厂家检修了
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人之所以快乐 不是因为得到的多 而是因为计较的少 财富不是一生的朋友 而朋友是一生的财富！
4楼2007-10-29 16:01:59
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nini_chen

银虫 (小有名气)
从真空度上看不出来吗
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6楼2008-06-02 15:19:52
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