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dyingsun

金虫 (小有名气)

[求助] 求助薄膜XRD测试时Al2O3基板0003峰的问题

用的基板是正方形的Al2O3(0001),长了一层薄膜后做theta-2theta扫描,X射线的入射方向与基板的一条边垂直。一直能观测到α-Al2O3基板的(0006)峰(41.7度左右),但有时能观测到(0003)峰,有时却不能。具体地说,如果phi=0时不能观测到(0003)峰,则phi=-30、30、90度时可以观测到,而phi=60、-60度时观测不到。
从结果上看,能否观测到(0003)峰应该和Al2O3的晶体结构(六方)对称性相关。但让我感到疑惑的是,为什么能一直观测到和(0003)面平行的(0006),且其强度并不随phi的变化有明显变化呢?
实在有些想不通,高手帮忙啊~谢谢!
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