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结深测试仪
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有谁使用过结深测试仪？能告诉型号、价格、性能等各指标最好了 （下面四位兄弟的答案离题太远了。“结深测试仪”就是仪器的名称，我需要知道的是这种仪器的信息，不是如何去测结深） [ Last edited by gsp99 on 2007-10-11 at 14:45 ] |
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feynman
铁杆木虫 (正式写手)
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- 1 - 扩散深度的测量 一、目的 用磨角染色法测量扩散深度 二、原理 因为扩散结深很小，通常在微米数量级，要在扩散片的侧面直接测出扩散结深是很 困难的。因此，我们采用磨角染色法实现对结深的测试。 扩散后的P—N 结剖面，其P 区和N 区没有明显的界限，为了实现测量，必须把P －N 结的位置显示出来，实验中用化学染色显示P—N 结的方法之一—硫酸铜液染色法。 由于Si 的电化学势比Cu 高，故Si 能从染色液中把Cu 置换出来，并在Si 片表面形成 红色铜镀层。又由于N 型Si 的电化学势比P 型Si 高，所以如果能恰当地掌握反应时机， 就能够使N 区镀上铜红色而P 区没有，这样就把P—N 结明显地显示出来。 （一）采用双光干涉波法测量结深。 在硅片表面加一块平板玻璃（要与硅片贴紧），干涉条纹是平板玻璃的下面反射的光线 和硅片斜面表面反射的光线相干涉所产生的。计算公式为 2n X m λ ＝ （6－1） 因为空气的折射率为1，因此扩散结深为： 2 X m j λ ＝ （6－2） （二）比较法测量 所谓比较法测量，是先用光学标尺给一等距离的小格尺定标，然后用给定的定标后 的小格尺度量样品。要使用格尺的最小格宽度小于光学标尺最小格放大影像的像线，下 边窄格线为使用的格尺线。比较二者看出，2 个光学标尺影像线格相对于12 个使用格 尺格。光学标尺格每格0.01mm，则使用格尺每格为 0.01mm 1.66666 10 mm 0.0016mm 12 2 × = × －3 ≅ 再用格尺度量样品，可读出观察层厚度。 三、实验步骤 1．将硼再分布后的硅片用蜡粘在磨角器上固定。在毛玻璃上研磨出一个斜面来，表面 要求光洁，无伤痕。然后取下硅片，在丙酮溶液中先超声清洗三次，然后在乙醇中超声 清洗三次，最后用去离子水冲洗干净。 2．将清洗好的硅片放入染色液中，正面向上，用灯光照射30 秒左右，并注意观察，当 发现N 区染上红色后，立即将硅片夹入清水中洗一洗，用滤纸吸干，即可进行测量。染 色时间不可过长，否则P 区也会染上红色，P—N 结就显示不出来。 染色液配方为 CuSO4·5H2O ׃ 48％HF ׃ H2O ＝ 5 克 ׃ 2 毫升 ׃ 50 毫升 - 2 - 4．将染好的硅片加一块平板玻璃，用钠光灯作为单色光源，用金相显微镜读出斜面上 扩散区干涉条纹数，用公式（6－2）计算x j 或用白光源，用比较法测出斜面投影宽度 再算出结深。 图6－1 比较法示意图 图6－2 磨角示意图 图6－3 结深xi 测试示意围 |
3楼2007-10-11 11:07:48
llmm0040122
木虫 (著名写手)
妈呀~~~超人啊o(∩_∩)o...
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2楼2007-10-11 08:39:52
blink0731
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4楼2007-10-11 12:43:15
alibabashiqun
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5楼2007-10-11 14:15:43
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