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M面衬底上GaN测试
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各位大侠: 我使用的是帕纳科的XRD,测试蓝宝石上生长的GaN晶体质量.以前都在c面(0001)上生长,测试002时psi默认是0度,测102时psi是一个别的倾角.最近尝试m面衬底(10-10),测试(10-10)时psi默认是90度,整个片子完全立起来了,感觉X光基本打不到片子上,请教该如何测试? |
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YANG5377
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