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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » M面衬底上GaN测试
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yuehaoliu

铁虫 (初入文坛)

[求助] M面衬底上GaN测试

各位大侠:
我使用的是帕纳科的XRD,测试蓝宝石上生长的GaN晶体质量.以前都在c面(0001)上生长,测试002时psi默认是0度,测102时psi是一个别的倾角.最近尝试m面衬底(10-10),测试(10-10)时psi默认是90度,整个片子完全立起来了,感觉X光基本打不到片子上,请教该如何测试?
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1楼 2013-05-27 15:38:29
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YANG5377

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我有两个建议：第一，可以通过测（10-15）取代（10-12）来说明问题；第二，测（10-12）的目的是为了表征刃型位错密度，外延面改为（10-10）之后，表征刃型位错密度的晶面也应该作出相应的调整，我认为应该测试与（10-12）垂直的那个晶面来表征M面GaN的刃型位错。
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2楼2013-06-05 09:15:23
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