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yuehaoliu

铁虫 (初入文坛)

[求助] M面衬底上GaN测试

各位大侠:
我使用的是帕纳科的XRD,测试蓝宝石上生长的GaN晶体质量.以前都在c面(0001)上生长,测试002时psi默认是0度,测102时psi是一个别的倾角.最近尝试m面衬底(10-10),测试(10-10)时psi默认是90度,整个片子完全立起来了,感觉X光基本打不到片子上,请教该如何测试?
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YANG5377

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我有两个建议:第一,可以通过测(10-15)取代(10-12)来说明问题;第二,测(10-12)的目的是为了表征刃型位错密度,外延面改为(10-10)之后,表征刃型位错密度的晶面也应该作出相应的调整,我认为应该测试与(10-12)垂直的那个晶面来表征M面GaN的刃型位错。
2楼2013-06-05 09:15:23
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