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[交流]
请问哪种晶体在湿法刻蚀时有选择性？类似氢氟酸刻蚀铌酸锂那样的。
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铌酸锂不同方向的氢氟酸湿法刻蚀速度是不同的。 -z面刻蚀速度最大，+z面刻蚀速度最小（几乎刻不动）。 还有哪些晶体具有这样的性质，刻蚀的化学药品是什么？ 速度差越大越好！ 另外，金刚石可以用哪种化学药品湿法刻蚀？ 如果可以刻蚀是否具有方向性呢？ 希望有空的朋友们随后帮忙答疑解惑一下。 谢谢  [ Last edited by wj0702114081 on 2013-5-15 at 13:27 ] |
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2013-05-15 22:41
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wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
haixiawu3楼
2013-05-24 02:20
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