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请问哪种晶体在湿法刻蚀时有选择性?类似氢氟酸刻蚀铌酸锂那样的。
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wj0702114081
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请问哪种晶体在湿法刻蚀时有选择性?类似氢氟酸刻蚀铌酸锂那样的。
铌酸锂不同方向的氢氟酸湿法刻蚀速度是不同的。
-z面刻蚀速度最大,+z面刻蚀速度最小(几乎刻不动)。
还有哪些晶体具有这样的性质,刻蚀的化学药品是什么?
速度差越大越好!
另外,金刚石可以用哪种化学药品湿法刻蚀?
如果可以刻蚀是否具有方向性呢?
希望有空的朋友们随后帮忙答疑解惑一下。
谢谢
[
Last edited by wj0702114081 on 2013-5-15 at 13:27
]
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