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eriker

新虫 (初入文坛)

[求助] Si片上旋涂法生成均匀聚亚酰胺薄膜

请问在Si片上旋涂法生成聚亚酰胺薄膜,对硅片要进行亲水或疏水处理什么的吗?我直接旋涂了capton溶液,硅片表面的膜很不均匀,有些地方都没涂上。求助生成均匀薄膜的方法。
还有因为这个原因涂废了很多硅片,请问有什么方法可以清洗掉硅片表面的PI膜?
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kongjzh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的硅片怎么处理的?
亲水或疏水性和你的处理工艺有关?
3楼2013-05-15 10:59:55
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查看全部 6 个回答

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

聚酰亚胺是疏水的,硅片表面是否可以考虑先做一层SIN,增加疏水性
2楼2013-05-15 07:54:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是聚酰亚胺?PI?
我们做PI,无论是硅片还是玻璃,都没出现过你说的这种情况。
你买的是谁家的PI?
4楼2013-05-15 12:16:15
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eriker

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kongjzh at 2013-05-15 10:59:55
你的硅片怎么处理的?
亲水或疏水性和你的处理工艺有关?

就是一般的酸液碱液清洗。然后旋涂,但是涂不上。
You can(not) redo.
5楼2013-05-15 17:49:54
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