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eriker新虫 (初入文坛)
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[求助]
Si片上旋涂法生成均匀聚亚酰胺薄膜
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请问在Si片上旋涂法生成聚亚酰胺薄膜,对硅片要进行亲水或疏水处理什么的吗?我直接旋涂了capton溶液,硅片表面的膜很不均匀,有些地方都没涂上。求助生成均匀薄膜的方法。 还有因为这个原因涂废了很多硅片,请问有什么方法可以清洗掉硅片表面的PI膜? |
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kongjzh
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3楼2013-05-15 10:59:55
reninhat
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yswyx
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5楼2013-05-15 17:49:54













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