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eriker新虫 (初入文坛)
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Si片上旋涂法生成均匀聚亚酰胺薄膜
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请问在Si片上旋涂法生成聚亚酰胺薄膜，对硅片要进行亲水或疏水处理什么的吗？我直接旋涂了capton溶液，硅片表面的膜很不均匀，有些地方都没涂上。求助生成均匀薄膜的方法。 还有因为这个原因涂废了很多硅片，请问有什么方法可以清洗掉硅片表面的PI膜？ |
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2楼2013-05-15 07:54:54
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