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zhte-8936金虫 (正式写手)
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[求助]
求助!合成材料时CVD对真空系统的要求 用过CVD的大神来
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| 因为实验室要买套CVD,现在不确定应该选用低真空设备还是高真空设备,二者价钱上差了七八万。低真空设备实际只能抽到2到5Pa,高真空设备能抽到0.001到0.01Pa。因为反应要在1000度气氛(氨气氢气之类的)下进行,痕量氧气对材料影响会很大,因此想知道低真空设备能否满足要求。谢谢大家! |
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13楼2016-08-20 07:39:09
gxytju2008
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2楼2013-05-14 20:03:12

3楼2013-05-14 20:11:48
zhte-8936
金虫 (正式写手)
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4楼2013-05-14 20:21:37










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