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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 铜钛腐蚀时圆片notch的方向有要求吗? 已有1人参与

notch方向与腐蚀工艺有关吗?还是以防出了问题方便追踪?
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yswyx

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
圆片notch?你是说硅片的notch?你做6寸以上的吗?
铜和钛搜视酸腐,各向同性,和硅片的晶向没有关系,所以理论上notch放哪边也没关系。
但是如果是wet bentch腐蚀,那么不同位置的腐蚀会有差别,所以能够把notch统一方向是最好不过的。
2楼2013-05-13 17:18:01
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-13 17:18:01
圆片notch?你是说硅片的notch?你做6寸以上的吗?
铜和钛搜视酸腐,各向同性,和硅片的晶向没有关系,所以理论上notch放哪边也没关系。
但是如果是wet bentch腐蚀,那么不同位置的腐蚀会有差别,所以能够把notch ...

谢谢,是硅片notch,应该是notch朝某一方向时腐蚀效果会好一点。
3楼2013-05-14 10:06:57
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