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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 铜钛腐蚀时圆片notch的方向有要求吗?
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 铜钛腐蚀时圆片notch的方向有要求吗? 已有1人参与

notch方向与腐蚀工艺有关吗？还是以防出了问题方便追踪？
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1楼 2013-05-13 13:35:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
圆片notch？你是说硅片的notch？你做6寸以上的吗？
铜和钛搜视酸腐，各向同性，和硅片的晶向没有关系，所以理论上notch放哪边也没关系。
但是如果是wet bentch腐蚀，那么不同位置的腐蚀会有差别，所以能够把notch统一方向是最好不过的。
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2楼2013-05-13 17:18:01
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-13 17:18:01
圆片notch？你是说硅片的notch？你做6寸以上的吗？
铜和钛搜视酸腐，各向同性，和硅片的晶向没有关系，所以理论上notch放哪边也没关系。
但是如果是wet bentch腐蚀，那么不同位置的腐蚀会有差别，所以能够把notch ...

谢谢，是硅片notch，应该是notch朝某一方向时腐蚀效果会好一点。
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3楼2013-05-14 10:06:57
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