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xiris

金虫 (初入文坛)


[交流] 半导体行业内三氧化二铝薄膜的介电常数是多少?

半导体行业内三氧化二铝薄膜的介电常数是多少?是不是不在此范围内的都不是Al2O3薄膜?
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wuxinweiyun

铁虫 (小有名气)



xiris(金币+1): 谢谢参与
介电常数不知道,不过我知道普通的氧化铝膜是活性的,不是a氧化铝,通常介电常数都不高。a相的阻值应该在10的6次方左右。
2楼2013-05-11 10:58:11
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)



xiris(金币+1): 谢谢参与
没记错的话9左右

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-05-12 10:01:47
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xiris

金虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by diwunju at 2013-05-12 10:01:47
没记错的话9左右

应该有个范围的吧?8-10?9-10?
6楼2013-05-23 17:44:00
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过往成风

金虫 (正式写手)



xiris(金币+1): 谢谢参与
应该是9左右
7楼2013-07-23 17:21:38
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破卷天涯

银虫 (著名写手)



xiris(金币+1): 谢谢参与
半导体行业的Al2O3薄膜介电常数在9左右,生长的质量不同而不同,禁带宽度大概在6.5ev
8楼2014-06-06 23:42:37
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简单回复
2013-05-12 21:18   回复  
xiris(金币+1): 谢谢参与
wangkj: 无用的帖子 2013-05-13 00:11:27
haixiawu5楼
2013-05-17 13:17   回复  
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