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半导体行业内三氧化二铝薄膜的介电常数是多少?
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xiris
金虫
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[交流]
半导体行业内三氧化二铝薄膜的介电常数是多少?
半导体行业内三氧化二铝薄膜的介电常数是多少?是不是不在此范围内的都不是Al2O3薄膜?
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1楼
2013-05-09 09:54:10
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xiris
金虫
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3楼
:
Originally posted by
diwunju
at 2013-05-12 10:01:47
没记错的话9左右
应该有个范围的吧?8-10?9-10?
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6楼
2013-05-23 17:44:00
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wuxinweiyun
铁虫
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虫号: 1335421
★
xiris(金币+1): 谢谢参与
介电常数不知道,不过我知道普通的氧化铝膜是活性的,不是a氧化铝,通常介电常数都不高。a相的阻值应该在10的6次方左右。
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2楼
2013-05-11 10:58:11
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diwunju
铁杆木虫
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★
xiris(金币+1): 谢谢参与
没记错的话9左右
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼
2013-05-12 10:01:47
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破卷天涯
银虫
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虫号: 2993910
★
xiris(金币+1): 谢谢参与
半导体行业的Al2O3薄膜介电常数在9左右,生长的质量不同而不同,禁带宽度大概在6.5ev
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8楼
2014-06-06 23:42:37
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