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一车小新

禁虫 (初入文坛)

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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

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镀膜的结构取决于镀膜的条件(气压,气体类型,流速,电压,功率等)和基体,一般是单晶或者晶粒比较大的多晶薄膜;而靶材一般都是粉末冶金制成的由微小晶颗粒做成的固体;镀膜的结构不取决于靶材。

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semi
2楼2013-05-08 21:51:42
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一车小新

禁虫 (初入文坛)

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3楼2013-05-09 14:00:57
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一车小新

禁虫 (初入文坛)

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4楼2013-05-09 15:30:55
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

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一车小新: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2013-05-11 10:52:38
引用回帖:
4楼: Originally posted by 一车小新 at 2013-05-09 15:30:55
现在最关心的就是,我拿磁控溅射镀膜,他是一个Al3Pd原子团溅出来,还是会把这个原子团打碎后,Al和Pd分别溅出来。您能指点一下吗?...

一般用XRD 来测薄膜的结构,或者用TEM电子衍射; 靶材被打出来的一般是单个的原子。。
semi
5楼2013-05-09 17:10:40
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