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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 新虫求救，Al3Pd的靶材镀出来的膜结构会变吗？
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一车小新

禁虫 (初入文坛)
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膜结构 磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2013-05-08 21:31:42
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
镀膜的结构取决于镀膜的条件（气压，气体类型，流速，电压，功率等）和基体，一般是单晶或者晶粒比较大的多晶薄膜；而靶材一般都是粉末冶金制成的由微小晶颗粒做成的固体；镀膜的结构不取决于靶材。
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一车小新
semi
2楼2013-05-08 21:51:42
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一车小新

禁虫 (初入文坛)
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3楼2013-05-09 14:00:57
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一车小新

禁虫 (初入文坛)
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4楼2013-05-09 15:30:55
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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
一车小新: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2013-05-11 10:52:38
引用回帖:
4楼: Originally posted by 一车小新 at 2013-05-09 15:30:55
现在最关心的就是，我拿磁控溅射镀膜，他是一个Al3Pd原子团溅出来，还是会把这个原子团打碎后，Al和Pd分别溅出来。您能指点一下吗？...

一般用XRD 来测薄膜的结构，或者用TEM电子衍射； 靶材被打出来的一般是单个的原子。。
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semi
5楼2013-05-09 17:10:40
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