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菊花满山

木虫 (正式写手)

[交流] 请教:如何测薄膜的厚度及应力

如题

谢谢赐教的大侠了!
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

可以用刻蚀或掩模的方法在薄膜上形成台阶,用台阶仪测厚
薄膜应力可以通过Raman光谱、XRD衍射峰位置偏移或者基片曲率来计算
推荐你看一本书
Thin Film Materials Stress, Defect Formation and Surface Evolution
L. B. Freund &S. Suresh著
4楼2007-10-10 08:47:38
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查看全部 4 个回答

goodenough

木虫 (正式写手)

薄膜的厚度测量有三种方法:
1.透射电镜
2.椭偏仪
3.干涉条纹
应力测量可以用XRD,如果结晶度高的话。
2楼2007-09-25 12:51:29
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skysnow1122

金虫 (小有名气)

FE-SEM也可以测厚度吧
3楼2007-10-10 08:32:16
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