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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by xiaoxiao108 at 2013-04-26 07:40:59
我说的在真空腔中进行氧化,是指在沉积铝的PVD腔中,沉积完铝,直接通入氧气氧化,这样是不是不用考虑原生氧化层的问题?我还没有做过实验,不知道在PVD腔里面直接氧化,实验条件允不允许?谢谢啦!...

楼主的氧化铝膜做的怎么样了?我正苦于还有没有必要做氧化铝来提高耐压。
11楼2013-10-14 14:46:26
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