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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿？
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xiaoxiao108 at 2013-04-26 07:40:59
我说的在真空腔中进行氧化，是指在沉积铝的PVD腔中，沉积完铝，直接通入氧气氧化，这样是不是不用考虑原生氧化层的问题？我还没有做过实验，不知道在PVD腔里面直接氧化，实验条件允不允许？谢谢啦！...

楼主的氧化铝膜做的怎么样了？我正苦于还有没有必要做氧化铝来提高耐压。
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11楼2013-10-14 14:46:26
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