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zeelue木虫 (小有名气)
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[求助]
求助:Pt薄膜电导率
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小弟要做一个微通道芯片的实验。硅片的背面溅射一层100nm - 300nm厚度的Pt薄膜,作为电加热。 现在的直流加热器件是110V 3A,需要设计这个 请问这个薄膜的尺寸怎么算,我查了一点论文,薄膜的电阻貌似不能按一般的体电阻来算。 求助万能的小木虫 |
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