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zeelue

木虫 (小有名气)

[求助] 求助:Pt薄膜电导率

小弟要做一个微通道芯片的实验。硅片的背面溅射一层100nm - 300nm厚度的Pt薄膜,作为电加热。
现在的直流加热器件是110V 3A,需要设计这个型薄膜的尺寸,使薄膜达到一定的电阻值,进而满足总的设计功率。

请问这个薄膜的尺寸怎么算,我查了一点论文,薄膜的电阻貌似不能按一般的体电阻来算。

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