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钦点木瓜

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
直流的能量比较大,射频的能量比较小,在同一功率下。
用绳命来搞科研
11楼2013-05-14 20:27:24
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huihuidl

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
射频镀的膜较为均匀
12楼2013-06-25 14:47:45
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swxby

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
对,肯定射频比ZnO低,但是仪器不同,无法精确给出。
ZnO是氧化物不考虑腔室的电势分布,射频长的比较慢,你做掺杂肯定推荐射频了。
你应该用的三靶共溅或者其他共溅系统吧,其他金属可以使用直流,因为需要的少。
喵了个咪的~
13楼2013-12-05 15:50:11
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916941518

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
直流较射频沉积速率快,这就造成所镀薄膜表面粗糙度不同,进而影响薄膜晶格结构
14楼2014-07-06 17:30:07
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