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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 在ito上磁控溅射sio2 问题
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wang1988ze

金虫 (小有名气)

[求助] 在ito上磁控溅射sio2 问题

ito单面导电，用导电面做为基板，
sio2靶材射频磁控溅射。  


结果ito两面都导电，(考虑到sio2为绝缘体，应该两面都不导电)
不晓得怎么会出现这种情况。。。
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1楼 2013-04-17 17:17:41
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