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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 设计培养 » 射频磁控溅射制备MgO薄膜的基底温度
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2012210130

银虫 (初入文坛)

[求助] 射频磁控溅射制备MgO薄膜的基底温度

想采用射频磁控溅射制得结晶MgO，基底需加热到多少度？500度是不是就可以了？谢谢各位虫友！
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1楼 2013-04-17 14:37:27
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
2012210130: 金币+2, ★有帮助 2013-04-18 14:43:29
你的500指的是实际的还是仪器显示的？基底加热要看你的需要，最好从低到高的加，把XRD结果比对一下看温度低好还是温度高好。祝你顺利！
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谢谢大家的帮助！
2楼2013-04-18 09:06:10
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
2012210130: 金币+3 2013-05-15 17:57:46
这需要自己试，我想至少从300开始，最高温度就得看你机器的能耐了。做完后，XRD掠入射一个一个分析吧。
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3楼2013-05-14 10:38:53
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2012210130

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-14 10:38:53
这需要自己试，我想至少从300开始，最高温度就得看你机器的能耐了。做完后，XRD掠入射一个一个分析吧。

我做了450度的，还是不结晶，MgO要想结晶关键是什么？温度不能再加了。增大功率有帮助吗？
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4楼2013-05-15 17:57:36
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duanwujie

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 2012210130 at 2013-05-15 17:57:36
我做了450度的，还是不结晶，MgO要想结晶关键是什么？温度不能再加了。增大功率有帮助吗？...

退火试试
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5楼2014-09-16 20:07:55
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