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撒蛋

木虫 (著名写手)

天堂里的恶魔

[求助] 想了解下均胶机(spin coater),有用过的给点建议!

准备在玻璃衬底上做纳米薄膜,想买个均胶机,国外太贵了,想买国产的。看了下,有的四五千的没有真空泵,八九千的有泵,不知道这两种还什么差别?贵的效果好些吗?现在国产的这种均胶机薄膜厚度范围能做到多少,均匀吗?有用的给点建议,谢谢!
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yes_121

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
泵买个1L/s的就可以了,300左右,市场上大把。匀胶机就在楼上说的中科院微电子所买。但是有个问题,微电子所的匀胶机很容易把溶胶吸进电机里,要注意经常清洗。否则,时间久了电机就不转了。
3楼2013-04-10 17:34:28
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查看全部 3 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


去中科院微电子研究所八室买,五千左右吧。
泵自己买去五金市场买一个一两千的就行。
薄膜厚度范围看的是你的液体黏度。薄胶的话,均匀性1%以下吧,厚胶均匀性要差一些。
2楼2013-04-10 15:50:43
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