应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 想了解下均胶机（spin coater），有用过的给点建议！
31/1返回列表
查看: 700  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

撒蛋

木虫 (著名写手)

天堂里的恶魔

[求助] 想了解下均胶机（spin coater），有用过的给点建议！

准备在玻璃衬底上做纳米薄膜，想买个均胶机，国外太贵了，想买国产的。看了下，有的四五千的没有真空泵，八九千的有泵，不知道这两种还什么差别？贵的效果好些吗？现在国产的这种均胶机薄膜厚度范围能做到多少，均匀吗？有用的给点建议，谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-04-10 15:26:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
去中科院微电子研究所八室买，五千左右吧。
泵自己买去五金市场买一个一两千的就行。
薄膜厚度范围看的是你的液体黏度。薄胶的话，均匀性1％以下吧，厚胶均匀性要差一些。
赞一下 回复此楼
2楼2013-04-10 15:50:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yes_121

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
泵买个1L/s的就可以了，300左右，市场上大把。匀胶机就在楼上说的中科院微电子所买。但是有个问题，微电子所的匀胶机很容易把溶胶吸进电机里，要注意经常清洗。否则，时间久了电机就不转了。
赞一下 回复此楼
3楼2013-04-10 17:34:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 撒蛋 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭