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wanghuiliwei

银虫 (小有名气)

[求助] 有用氟化铵刻蚀SiO2的文献吗

大家好:
    有用氟化铵(NH4F)刻蚀SiO2的文献吗
    有的话请给我发一下啊,或者文献的链接也行
    本人急需,万分感谢!

[ Last edited by wanghuiliwei on 2013-3-24 at 10:03 ]
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天道酬勤
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wanghuiliwei

银虫 (小有名气)

怎么没有人回应呢
自己顶一下了
天道酬勤
2楼2013-03-24 22:35:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wanghuiliwei: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-03-27 15:35:07
NH4F是BOE中的成分,主要是做HF的缓冲液,腐蚀SiO用BOE很多。你查BOE的话应该能查到不少资料。
3楼2013-03-25 19:40:48
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wanghuiliwei

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-25 19:40:48
NH4F是BOE中的成分,主要是做HF的缓冲液,腐蚀SiO用BOE很多。你查BOE的话应该能查到不少资料。

谢谢楼上的回复
BOE就是缓冲蚀刻液吧
这个在哪儿查呢
本人急忙求,谢谢了
天道酬勤
4楼2013-03-27 15:34:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by wanghuiliwei at 2013-03-27 15:34:32
谢谢楼上的回复
BOE就是缓冲蚀刻液吧
这个在哪儿查呢
本人急忙求,谢谢了...

都说到这份上,google一下啊。
关键词:BOE etch
http://www.google.de/#hl=zh-CN&a ... A66Uf8&bav=on.2,or.&bvm=bv.44342787,d.dGI&fp=a66e1ccf52dcf88a&biw=1394&bih=753
5楼2013-03-27 19:39:31
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