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深海长眠

铜虫 (小有名气)

[交流] 请教ZnO薄膜问题 已有9人参与

制备的ZnO薄膜在玻璃衬底上，怎么才能将薄膜剥离下来呢
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1楼 2013-03-22 15:01:17
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wu1008

金虫 (著名写手)
为什么要剥离出来？
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2楼2013-03-22 19:30:30
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-23 07:51:34
剥离比较困难，但也不是没有希望的，如果你做的膜比较厚，500nm左右吧，往复几次高低温实验，因为比较厚的膜由于热应力，会发生龟裂而脱落。 50nm纳米的就不能了。
你也可以考虑使用NaCl晶片，做ZnO薄膜，然后溶解衬底就可以了，ZnO薄膜的制备温度较低，一般是小于500度！
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3楼2013-03-23 00:01:10
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anjin0716

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般有软办法，硬办法，比如沸水煮，机械刮膜等等。
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苦不是一件坏事，它会让你未来的甜变得更加甜！！！
4楼2013-03-23 09:50:04
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hqh2011

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
三楼说的有道理。这种剥离确实是有困难的。
我们可以尝试通过加热等手段使得薄膜开裂，从而稍加超声进行剥离。
如果你需要较大块的分离薄膜这种方法则是比较难以实现的。
希望有帮助
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5楼2013-03-23 10:36:54
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by caoxiafei at 2013-03-23 00:01:10
剥离比较困难，但也不是没有希望的，如果你做的膜比较厚，500nm左右吧，往复几次高低温实验，因为比较厚的膜由于热应力，会发生龟裂而脱落。 50nm纳米的就不能了。
你也可以考虑使用NaCl晶片，做ZnO薄膜，然后溶解 ...

你试过长在NaCl然后溶解？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2013-03-24 01:46:42
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桔子11

至尊木虫 (著名写手)

清风依旧
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道用化学侵蚀法行不行。。。。。。
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世界上没有任何东西可以取代持之以恒！
7楼2013-03-24 10:54:19
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桔子11

至尊木虫 (著名写手)

清风依旧
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
在书上看到的——为了使用正胶形成正八字侧壁形貌，剥离工艺一般采用单层胶氯苯处理法、双层胶法和图形反转胶法这三类。
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世界上没有任何东西可以取代持之以恒！
8楼2013-03-24 11:34:50
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-25 18:32:45
引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-24 01:46:42
你试过长在NaCl然后溶解？
...

我本人没哟试过，不过实验室有人在NaCl晶片上做 铁电薄膜，溶解衬底得到想要的单层膜，所以我建议你试试，不知道，ZnO与NaCl晶体的热膨胀率是不是匹配比较好。

不知道，你为什么要剥离ZnO薄膜。
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9楼2013-03-24 21:26:46
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
这个是有点困难
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落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
10楼2013-03-24 22:05:09
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