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1楼 2013-03-18 10:26:38
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
yzdelei: 金币+3, ★有帮助 2013-03-27 11:00:31
真空腔体的流场分析的文章应该有帮助。查查相关的文章，比如CVD之类的。
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2楼2013-03-25 21:42:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
yzdelei: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-27 11:00:21
我的经验，抽速越大，气压越低，气体在炉子里面的流速越大。
其实就是个稳定平衡的状态嘛。提供的氮气的速度等于机械泵的抽速，达到平衡，于是气压就稳定了。
一般来说，还要在机械泵那里安装一个控制抽速的装置，更容易调节。
不过按照你的描述，似乎你的机械泵的抽速不算很大，否则通过提供气流端的针阀没那么容易控制气压。
赞一下(1人) 回复此楼
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
3楼2013-03-25 22:37:25
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小幽90

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-03-25 22:37:25
我的经验，抽速越大，气压越低，气体在炉子里面的流速越大。
其实就是个稳定平衡的状态嘛。提供的氮气的速度等于机械泵的抽速，达到平衡，于是气压就稳定了。
一般来说，还要在机械泵那里安装一个控制抽速的装置， ...

机械泵怎么控制抽速。？

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-07-14 11:28:21
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