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junmao1989

金虫 (小有名气)

[求助] PECVD 腔内离子浓度以及离子能量是受什么参数控制的?

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yswyx

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【答案】应助回帖

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这个就多了,气体分压,流场,偏压,频率,距离,腔体,电极,等等等等。
2楼2013-03-15 16:25:36
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junmao1989

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-15 16:25:36
这个就多了,气体分压,流场,偏压,频率,距离,腔体,电极,等等等等。

偏压,以及频率对他们的影响是咋样的啊?还有就是在其他参数都不变的情况下,单独改变偏压或者频率,离子浓度和离子能量之间存在什么关系?能帮忙解释下么
3楼2013-03-16 08:20:49
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