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junmao1989

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[求助] PECVD 腔内离子浓度以及离子能量是受什么参数控制的？

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1楼 2013-03-15 11:26:01

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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

这个就多了，气体分压，流场，偏压，频率，距离，腔体，电极，等等等等。

2楼2013-03-15 16:25:36

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junmao1989

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引用回帖:

2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-15 16:25:36
这个就多了，气体分压，流场，偏压，频率，距离，腔体，电极，等等等等。

偏压，以及频率对他们的影响是咋样的啊？还有就是在其他参数都不变的情况下，单独改变偏压或者频率，离子浓度和离子能量之间存在什么关系？能帮忙解释下么

3楼2013-03-16 08:20:49

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