24小时热门版块排行榜    

查看: 353  |  回复: 2

junmao1989

金虫 (小有名气)

[求助] PECVD 腔内离子浓度以及离子能量是受什么参数控制的?

RT
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个就多了,气体分压,流场,偏压,频率,距离,腔体,电极,等等等等。
2楼2013-03-15 16:25:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

junmao1989

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-15 16:25:36
这个就多了,气体分压,流场,偏压,频率,距离,腔体,电极,等等等等。

偏压,以及频率对他们的影响是咋样的啊?还有就是在其他参数都不变的情况下,单独改变偏压或者频率,离子浓度和离子能量之间存在什么关系?能帮忙解释下么
3楼2013-03-16 08:20:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 junmao1989 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工专硕342,一志愿大连理工大学,求调剂 +3 kyf化工 2026-02-28 4/200 2026-03-01 16:49 by yywzz
[基金申请] 刚录用,没有期刊号,但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 0856求调剂285 +7 吕仔龙 2026-02-28 7/350 2026-03-01 16:04 by hmn_wj
[考研] 295求调剂 +6 19171856320 2026-02-28 6/300 2026-03-01 15:52 by jxstnuZYX
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-02-28 7/350 2026-03-01 15:14 by wjLi2017
[考研] 课题组接收材料类调剂研究生 +3 gaoxiaoniuma 2026-02-28 4/200 2026-03-01 14:30 by jjj三跨
[考研] 材料284求调剂,一志愿郑州大学英一数二专硕 +10 想上岸的土拨鼠 2026-02-28 10/500 2026-03-01 14:12 by yc258
[考研] 化工299分求调剂 一志愿985落榜 +4 嘻嘻(*^ω^*) 2026-03-01 4/200 2026-03-01 13:15 by wang_dand
[考研] 0856材料专业298分有科研经历 硕士研究生调剂自荐信 +6 zyf上岸 2026-03-01 6/300 2026-03-01 12:43 by liqiongjy
[考研] 306分材料调剂 +3 chuanzhu川烛 2026-03-01 4/200 2026-03-01 12:32 by houyaoxu
[考研] 调剂 +3 简木ChuFront 2026-02-28 3/150 2026-03-01 11:46 by 王伟要上岸啊
[考研] 高分子化学与物理调剂 +5 好好好1233 2026-02-28 9/450 2026-03-01 10:59 by fengyu211
[考研] 311求调剂 +9 南迦720 2026-02-28 10/500 2026-03-01 10:55 by sunny81
[考博] 博士自荐 +4 kkluvs 2026-02-28 4/200 2026-03-01 10:19 by 馥安馥安
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业,申博 +3 更多的是 2026-02-27 4/200 2026-03-01 10:04 by ztg729
[论文投稿] 求助coordination chemistry reviews 的写作模板 10+3 ljplijiapeng 2026-02-27 4/200 2026-03-01 09:07 by babero
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
[考研] 304求调剂 +3 52hz~~ 2026-02-28 5/250 2026-03-01 00:00 by 52hz~~
[考研] 292求调剂 +3 yhk_819 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:57 by gaoxiaoniuma
信息提示
请填处理意见