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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 怎么用SRIM 2006画下面这张图
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2013-03-17 02:32:14
没错，是这样的，我对b中的情况做了一下计算。TRIM的图像是这样的。最高值是在7E4，乘上表面计量，6E16，结果可不就是4E21左右么。
关于Hopf的paper，我觉得可能是有图像含义的区别在里边。曲线上的数字指的是注入 ...

这张图在计算界面我会弹出，但是怎么在output里生成.txt 啊，那样就可以在origin里乘以表面剂量进行绘图啊
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11楼2013-03-17 20:37:35
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-17 19:37:35
这张图在计算界面我会弹出，但是怎么在output里生成.txt 啊，那样就可以在origin里乘以表面剂量进行绘图啊...

如何搞出这个来我还真不太在行，因为我一直搞得都是能量分布，因为我记得导出的文件是离子位置的信息。所以我得研究一下。
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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
12楼2013-03-17 23:07:38
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-17 19:37:35
这张图在计算界面我会弹出，但是怎么在output里生成.txt 啊，那样就可以在origin里乘以表面剂量进行绘图啊...

我已经解决了这问题，http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5553317&page=1#pid1，看帖去吧。
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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
13楼2013-03-18 18:20:04
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maiery

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2013-03-16 00:58:26
SRIM中只需要设置入射能量（必要的话可以设置入射角度），靶的材料。然后已经求出必要的数据来了，1E15，注意后面的单位，ions/cm2，我不知道找的是谁的模拟结果，但是我觉得，这个结果应该是，错误的。因为从单位上 ...

量纲没有问题，如果a图中计算出来的是浓度与深度之间的函数关系，得到的图像绝对不可能是线性的，我之前也很纠结这个问题现在想想应该没什么不对的，毕竟按照浓度的计算方法分母你要加上衬底原子
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无欲无求，知足常乐
14楼2014-11-12 16:02:47
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xiaohouzih

新虫 (初入文坛)
请问我现在已经知道注入粒子的空间剂量，那么怎么转化为at. %这个单位呢？
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15楼2015-01-11 21:37:57
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by xiaohouzih at 2015-01-11 21:37:57
请问我现在已经知道注入粒子的空间剂量，那么怎么转化为at. %这个单位呢？

13楼正解
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16楼2015-01-13 13:34:05
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vbmmgyhgfdd

金虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by jzsunjia at 2015-01-13 13:34:05
13楼正解...

您好，请教您个问题，我用TRIM算出Ion ranges 纵坐标为(Atoms/cm3)/(Atoms/cm2),乘以注入剂量ions/cm2后变为ions/cm3,即一定深度下离子的分布，请问怎样将这个单位转换成浓度单位at.%,谢谢
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美好的未来，奋斗，坚持。
17楼2018-09-14 10:53:12
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