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yulinmuxuan

金虫 (正式写手)

[求助] 急急急!!!求用反应磁控溅射法制备氮化钒的具体步骤?或者相关的文献

求用反应磁控溅射法制备氮化钒的具体步骤?或者相关的文献
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做最好的自己加油
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siberawolf

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先肯定是制靶材 然后把靶材和工件放入炉子中  再把其中抽真空 开启电源控制工艺
2楼2013-03-15 22:08:27
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多多余余

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

最简单的办法就是找到纯钒靶材,然后通入氮气,通过控制靶材的电流、溅射偏压、氮气的流量来控制膜层质量,工艺非常简单。但前提是需要有纯钒靶材。
3楼2013-03-23 11:48:49
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